(1) 直讀光譜儀激發樣品需要在高純氬氣氛圍下才能保證樣品有效地聚集性激發。氬氣不純會導致擴散性激發，分析結果出現很大誤差。

(2) 鎢電極在高純氬氣保護下，使被激發的樣品不受其他雜質氣體干擾，有利于金屬在高溫下的激發，提高分析準確度。

(3) 氬氣不純通常是含水和氧,會導致非金屬元素測得不準，影響碳、磷、硫等非金屬元素的檢測。

光譜儀使用的氬氣純度要求99.999%,低純度的氬氣將導致以下后果：

(1) 校正系數超出要求范圍，標準化系數偏高。

(2) 激發光源無法激發。

(3) 激發時擴散放電，激發點呈白斑，強度降低，沒有足夠的能量使樣品產生電子躍遷，導致分析數據不準確。

不同氬氣氛圍下，樣品激發所形成的光斑如下圖：