1、氬氣的電離電位較低，作為工作氣體可降低分析間隙的擊穿電壓。在1個大氣壓下，均勻電場中空氣氣氛中的分析間隙擊穿電壓3000V/mm，氬氣氣氛中為1000V/mm。分析間隙的擊穿電壓越低就越容易放電激發(fā)，因此擊穿電壓越低有利于獲得較穩(wěn)定的特征光譜強度。

2、氧氣是原子狀態(tài)的氣體，而空氣（氮、氧）是分子狀態(tài)。它們經(jīng)激發(fā)后，氬原子所產(chǎn)生的激發(fā)光譜（800mm）比空氣（氮、氧）的激發(fā)光譜（分子光譜帶）要簡單，其連續(xù)背景要低很多。

3、氬氣作為保護氣，在激發(fā)過程中，不會與樣品金屬蒸氣形成其他化合物，可防止分析樣品和電極不被空氣氧化、氮化。這是因為空氣是由氮氣和氧氣組成的。在高溫下，分析樣品和電極可被氧化生成氧化物，或者氮化生成氮化物，而氧化物和氮化物不具有導電性，可導致分析樣品激發(fā)停止、中斷工作，上述現(xiàn)象的出現(xiàn)將直接影響各元素的光強度值。氬氣是惰性氣體，在高溫下不和任何金屬發(fā)生反應，它的使用將可有效地杜絕金屬的氧化和氮化。

4、氬氣可以傳輸真空紫外光譜（200nm以下），可杜絕紫外區(qū)的特征光譜被吸收。吹氬的主要作用是，試樣激發(fā)時趕走火花室內的空氣，減小空氣對紫外光區(qū)譜線的吸收。主要是在遠紫外區(qū)，空氣中的氧氣、水蒸氣具有強烈的吸收帶，對分析結果造成很大的影響，且不利于激發(fā)穩(wěn)定，形成或加強擴散放電，激發(fā)時產(chǎn)生白點。另外，在高溫情況下樣品中的合金元素可能會與空氣中成分發(fā)生化學反應生成化合物，從而產(chǎn)生分析光譜，對我們所需的原子光譜造成干擾。碳、氮、硫、磷等元素其特征譜線都在紫外區(qū)。

5、樣品被激發(fā)時氬氣可帶走熱量和粉塵，并消除記憶效應，凈化分析環(huán)境。氣體具有流動性，不但可以帶走多余的熱量，還可以帶走大量的粉塵。當溫度較高時，使樣品或電極發(fā)生膨脹現(xiàn)象，導致分析間院發(fā)生變化。粉塵的存在可使分析過程具有記憶效應或者影響光譜光路，不管是哪種情況，都會影響分析結果的準確度。

光電直讀光譜儀所用氬氣的純度，必須滿足GB/T- 4842-2006《氬》中的高純氬等級，及氬氣純度必須≥99.999%