氬氣流量就是每分鐘流入儀器的氬氣體積數(shù)，其單位用L/min 表示。由于光電直讀光譜分析是在氬氣氛圍條件下進(jìn)行的，要想保持這個(gè)氬氣氛圍，就必須選擇好氬氣流量這個(gè)參數(shù)。如果氬氣流量過小，火花室中的空氣沒有排凈，空氣中的氧氣對(duì)紫外光有強(qiáng)烈的吸收作用，使譜線的強(qiáng)度大大減弱，分析靈敏度急劇下降；同時(shí)，由于散熱太慢導(dǎo)致樣品或電極發(fā)生變形，火花室中的空氣和試樣激發(fā)分解出來的含氧化物產(chǎn)生擴(kuò)散放電；激發(fā)過程中產(chǎn)生的大量金屬蒸氣或粉塵積聚在火花室無法及時(shí)排除至機(jī)外，很容易對(duì)聚光鏡（透鏡）造成污染。上述現(xiàn)象的存在都會(huì)對(duì)分析結(jié)果的準(zhǔn)確度產(chǎn)生影響。氬氣流量過大，在激發(fā)樣品時(shí)火花產(chǎn)生跳動(dòng)，也會(huì)對(duì)分析結(jié)果的準(zhǔn)確度產(chǎn)生影響，另外也造成氬氣資源浪費(fèi)，增加使用成本。因此，氬氣流量的最佳值選擇是必要的。實(shí)際應(yīng)用中，應(yīng)根據(jù)不同的參數(shù)，調(diào)節(jié)相應(yīng)的氬氣流量。